干式螺杆真空泵的应用范围
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发表时间：2018-07-26
干式螺杆真空泵的应用范围有哪些? 小编给您介绍， 主要内容如下：
1、多晶硅制备过程中的低压化学气相沉积；
2、用作普通无油清洗真空系统的前级泵，防止油污染；
3、半导体蚀刻工艺。在这些制造过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒；
4、在化学工业，医药工业，食品工业的蒸馏，干燥，消泡，包装，防止有机溶剂引起的污染，适合与干式螺杆真空泵配套使用；
5、除半导体工艺外，部分工艺过程产生的颗粒，不希望颗粒与泵油混合，希望颗粒从泵内排出，用一定类型的干式机械真空泵达到要求。
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1、多晶硅制备过程中的低压化学气相沉积；
2、用作普通无油清洗真空系统的前级泵，防止油污染；
3、半导体蚀刻工艺。在这些制造过程中经常使用或产生腐蚀性气体和磨粒；
4、在化学工业，医药工业，食品工业的蒸馏，干燥，消泡，包装，防止有机溶剂引起的污染，适合与干式螺杆真空泵配套使用；
5、除半导体工艺外，部分工艺过程产生的颗粒，不希望颗粒与泵油混合，希望颗粒从泵内排出，用一定类型的干式机械真空泵达到要求。
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