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真空度有哪些测量方式?

文章出处:未知 人气: 发表时间:2018-11-11
真空度有哪些测量方式? 干式螺杆真空泵小编给您介绍,主要内容如下:

麦氏真空计
也称为紧缩式真空计,将待测的气体用汞(或油)紧缩到一极小体积,然后比拟开管和闭管的液柱差。
 
热偶真空计
应用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来丈量真空度的真空计。
 
电离真空计
由筒状搜集极,栅网和位于栅网中心的灯丝构成,筒状搜集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子,离子被搜集极搜集,依据搜集的离子流大小来丈量气体压强的真空计。
 
复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成,丈量范围从大气~10-5Pa。
 
冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板,在外加磁场作用,阳极筒内构成放电产生离子,依据阴极板搜集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
 
电阻真空计
应用加热元件的电阻与温度有关,元件的温度又与气体传导有关的原理,经过电桥电路来丈量真空度的真空计。
 
电容薄膜真空计
这是一种阴极与搜集极倒置的热阴极电离规。搜集极是一根细丝,放在栅网中心,灯丝放在栅网外面,因此减少软X射线影响,延伸丈量下限,可测超高真空。


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